ナカニシ中西エアー浮上主軸ABT-1000、サファイア研磨研磨

中西NAKANISHI浮上主軸ABT-1000は、空気軸受タービン式主軸とも呼ばれ、外径40 mm、回転数100000回転/分、出力88 W、鼓動精度1μm、精密加工された軸と軸受はコアの鼓動と振動を抑制し、高回転精度を実現した。エアフローティングと回転軸の機構を採用しているため、ボールベアリングよりも寿命が長い。現在、半導体ウエハ切断、半導体グラインダ研磨、サファイア面取り機で使用可能である。