たいきマニピュレータ

ウエハ搬送シリーズの大気ロボットは主に半導体加工過程に応用され、大気端の異なるステーション間のウエハ搬送を担当する重要な自動化設備である。本シリーズの大気ロボットは軽量、高剛性アーム、高精度、高性能のACサーボモータと高調波減速機を採用し、高速で安定した運転を実現することができる。このロボットはクリーン環境運動部品の潤滑要求を満たし、ロボットが長期的に安定して動作し、クリーン環境に影響を与えないことを保証する。新松会社が持つネットワーク型ロボットコントローラを用いて制御を行い、構造がコンパクトで、構成が柔軟で、制御性能が高いという特徴があり、異なるロボット本体に適応でき、ロボットコントローラ間、ロボットコントローラとIC装備間の通信を実現し、異なる応用システムを構成するのに便利である。現在、新松会社はすでにシングルアームとダブルアームの2種類の4つのモデルを持っており、顧客の要求に応じてカスタマイズすることができ、すでにユーザーが応用しており、シリーズ化された製品が異なるユーザーの要求を満たすようになっている。