EBIC走査型電子ビーム誘導電流増幅器及びイメージングシステム

Deben傘下のKEDが出品したEBICは、サンプル電流と電子ビーム誘導電流測定増幅器であり、吸収電流測定、吸収電流イメージングと電子ビーム誘導電流イメージングを行うことができ、バイアスサンプルを用いることができる。EBICイメージングを実行するために必要な装置は、走査電子顕微鏡、EBIC増幅器、電気真空フィードスルーである。電子ビームから注入された電子は半導体等化状態を打破し、電子/正孔対を生成し、EBIC信号は主に埋め込まれた拡散層（トランジスタとダイオード）から生成され、電子ビームによって生成された感生電流または電圧を増幅することによって、この効果によってSEM監視画像を形成することができる。