ビームブレーキ

英国DEBEN電子ビームブレーキ

多くの走査電子顕微鏡には内蔵されたビームブレーキがあり、鏡筒走査コイルを使用することで電子ビームを遮断する。この方法はいくつかの用途に適しているが、電子ビーム遮断速度は通常、数ミリ秒程度で遅い。より速いブランキング遮断速度が必要な場合は、別の高速静電場型ビームブレーキを設置する必要があります。

英国Deben出品者PCD型束ブレーキは、JEOLとHitachiのFEG電界放出、LaB6六ホウ化ランタン及びタングステンフィラメント走査電子顕微鏡は、電子ビームのブランキング（遮断、スイッチ）、パルス又は他の変調能力を提供する。このビームブレーキは、ミラー鏡筒の側面のPCDポート（最終開口絞りに対する相対）は、最大30キロボルトの電子顕微鏡加速電圧で動作し、スイッチング時間は約50ナノ秒。統合されたファラデーカップとプローブ電流検出器（PCD）を使用してプローブ電流を指示します。ビームフローのより正確な読み取りが必要な場合は、BNCコネクタはオプションのプローブ電流計に接続されています（このページの最後の「5速ビーム電流計」を参照）。

偏向板機構は鏡筒の中心軸線に配置することができ、不要な場合にも完全に抽出することができる。ビームブレーキ極板はコバルト金めっき層のリン青銅で作られ、極板を挿入する際に走査電子顕微鏡の正常な動作に影響を与えないようにしている。極板の長さと間隔は、1kVまで30kVの加速電圧範囲内で最適な電子ビーム遮断効率を得ることができる。

一連のバンドルブレーキシステムには、PCDポートアダプタと、伸縮性のあるビームブレーキ極板アセンブリと統合されたパルスドライバを備えています。1つのリモートパルス駆動入力と1つの小型デスクトップコントローラを含む。オプションRS-232インタフェースは、コンピュータから直接制御される電子顕微鏡または自動電子ビームリソグラフィシステムによってビームゲートシステムを制御することができる。

Deben電子ビームブレーキは遮断に用いることができるSEM主に電子ビーム露光書き込みシステムに使用される電子ビーム（電子ビームのオンとオフ）。EDX、CLまたはEBIC。

計器の特徴：

• ビームフローの検出に便利な統合ファラデーカップ
• スイッチ応答が速く、時間が短い
• 電動挿入式極板
• 5V TTLレベル制御入力
• オプションRS-232リモート制御
• 互換電子顕微鏡加速電圧が最高30 kV
• 大部分に適合するJEOLおよびHitachiでんききょう

推奨適用＃テキヨウ＃：

• 電子ビーム露光（EBL）
• 陰極発光（CL）
• EBICイメージング/でんあつライニングイメージング
• EDX
• 走査型電子音響顕微鏡

オプションの5速バンドルフローテーブル：n

• オートゼロ補正
• 25°Cじかんさいだいごさ5pA
• オーバーロード：オーバーロード100μA
• 電力：バッテリ4 x AAアルカリ電池、通常動作10000時間（1.2年）
• 寸法:130mm（幅）x 70mm（高さ）x 115mm（深さ）

注：英国DEBEN PCD型束ブレーキは通常米国とNPGSナノグラフィツクジェネレータ、EBICなどの設備を組み合わせて使用する。