JC Nabity電子ビーム露光システム（NPGSナノグラフィックジェネレータ）

SEM／FIB改質に基づくNPGS V 9.1電子ビーム露光システム

1）NPGSは既存のSEM、STEMまたはFIBなどを基礎として、電子ビーム制御システムを加え、コンピュータ界面を通じて電子ビームのベクトル走査を制御し、直接図形を書き込む。

2）NPGSシステムは元SEMの観測機能を兼ね備えている。SEM自体の機能には影響しません。

3）機能が強く、操作が簡単で、使用が柔軟である。

4）NPGSは現在主流のSEMやFIBなどとセットにすることができる。

NPGS V 9.0は、走査電子ビームを制御するソフトウェアプログラムである。電子顕微鏡に基づく電子ビーム露光は単純に2つの部分に分けられる：書き込み設計と図形動作。書き込み設計は、NPGSがランダムに提供するDesignCADプログラムによって行われます。このCADプログラムは変更され、電子ビーム露出のコマンドが追加されました。図形運転には、図形上の各点の位置及び露光時間を計算するための設定パラメータが含まれている。

NPGSハードウェアボード：カスタマイズされたマイクロシャドウボードカードは、コンピュータワークステーション内の高速PCIeスロットに基づいてインストールされています。主な特徴は：

1.16ビット高速デジタルモード変換出力、X、Yデュアルチャネル同時出力、同期走査周波数5 MHz、互換性6 MHz、電子ビーム滞留時間最小増分0.5ナノ秒、そしてすべての周波数でこの解像度を達成することができる。

2.書き込み走査方式：ベクトル走査方式とビットマップ走査方式。

3.集積された電子ビームブレーキ制御出力。

4.画像取得には統合された16ビットアナログ変換入力を用いる。

5.PCIeスロットに基づいて、設置が便利で、運行が信頼できる。

電子ビーム遮断器（ビームブレーキ）：電界型高速ビームブレーキ。NPGSシステムもバンドルブレーキなし運転をサポートしている。

ピコアンペア計：SEMに基づく電子ビーム露光システムには、衝撃試料の電子ビーム流を正確に読み出すピコアンペア計が必要である。一般に、電子ミラーステージの外からサンプル電流出力に接続するためには、ピアンメーターを接続する必要があります。

電子ミラービームストリーム：NPGSはオプションでファラデーカップを接続制御することができ、および／またはピコアンペア計から数を読むことができますが、ほとんどのユーザーは手動制御のファラデーカップとピコアンペア計を使用します。

電子顕微鏡パラメータ及び電動台制御：いくつかの汎用電子顕微鏡デジタルドライバ及びステージドライバを無料で提供する。シリアル通信プロトコルがあれば、本システムは外部制御をサポートします。