K 975 S高真空熱蒸着めっき装置

K975X/K975S高真空熱蒸発コーティング装置

K975Xタービンポンプ高真空蒸着器は、異なるサンプルの調製に適応するための柔軟性とモジュール化された拡張機能を有する多用途メッキシステムである。K975X次のような一連のサンプリング技術を実現することができます。TEMの炭素支持膜及び被覆膜、炭素/金属蒸着、低角度投影(オプション)及び二重源蒸発を用いることにより(オプション)シーケンシャルめっきを行い、スパッタめっき膜アタッチメント(オプション)複数のターゲットに適用できます。独自の引き出し式サンプル積載システムにより、ユーザーは様々なサンプルを簡単に入れることができ、ヒンジ式トップカバー構造も作業室室内の様々な領域に容易に到達することができる。

K975Sに基づくK975Xが、特殊でより大きなサンプルロードドアを備えており、入れることができます8インチ（200mm）ウエハまたは同様の大サンプル炭素めっき。炭素棒蒸発源は真空チャンバトップカバー板に直接取り付けられ、炭素銃の操作を容易にし、大径試料に必要な蒸発源から試料までの最適な距離を提供する。とK975X異なる、K975S金属蒸発源および対応する底板取付ポストは取り付けられていない。

機器の特徴：

•全自動真空引きシステム

•サンプルサイズ140ミリ四方または200ミリメートル直径

•ユニークなデザインの「anti-stick「カーボン蒸発銃

•引き出し式サンプル積載システム

•4つの蒸着設定を備えたオプションの蒸着タイプ

•節度ある破真空排気制御

•オプションスパッタリングアタッチメント

•オプションの膜厚モニタリングアタッチメント（FTM）

推奨アプリケーション：

•炭素棒/たんそひもじょうはつ

・金属蒸発

•走査型電子顕微鏡絞り清掃（モリブデンボート）

•TEMカーボン支持膜と被覆膜

•低角度シャドウ

•二重源蒸発を用いた連続めっき層

•EDX、WDS、EBSD解析

•オプションのマグネトロンスパッタリング応用

の場合SEM使用するメカニカルポンプによる真空引きを行う金噴霧炭素計については、「SC7620とQ150R Plusを選択して設定できます。FE-SEM必要な超微粒子コーティングを適用するには、高真空コーティング装置を使用することをお勧めします。Q150T Plus、Q150V PlusまたはQ150GB;チャンババージョンのコーティングシステムが必要な場合は、次を参照してください：Q300T T Plus、Q300T D Plus、Q300T ES PlusとK975X/K975S。これらの製品は科学研究の用途に特化している。