多目的サンプル洗浄及び貯蔵チャンバ

多目的サンプル洗浄及び貯蔵チャンバ——TEM&SEMサンプルクリーニング及び保存方案

次のような外部添付ファイルをオプションで設定します。EM-KLEEN遠隔制御プラズマ源と/またはTEM試料ロッドアダプタ、多目的チャンバを異なる用途に構成することができる。EM-KLEEN遠隔プラズマ源は、試料洗浄及び表面活性化のために空気、酸素又は水素を用いて酸素及び水素ラジカルを生成することができる。もしチャンバーが備え付けられていたらTEMサンプルロッドアダプタは、受け入れられ、洗浄されます。Thermo Fisher、JEOLとHitachiの合計6つTEMサンプルロッド、そしてサンプルロッドの真空貯蔵ステーションとしても使用できます。もちろん、EM-KLEENプラズマ源も取り外して取り付け可能SEM、FIBまたはXPSなどの真空チャンバ上。

構成一

多目的チャンバ配置EM-KLEENプラズマ源

適用：EM-KLEEN遠隔プラズマ源は、処理ガスとして室内空気、酸素または水素を用いて酸素または水素ラジカルを発生する。洗浄するサンプルは上部ガラスドアから積載することができる。EM-KLEENプラズマ源も取り出され、SEM、FIBとXPSシステム真空チャンバ上でチャンバ洗浄を行う。

構成二

多目的チャンバ配置プラズマ源及びTEMサンプルロッドアダプタ。

適用：EM- KLEENリモートプラズマ源SEM&TEMサンプルクリーニング。サンプルは上部ガラスドアを介してロードするか、アダプタを介して挿入することができますTEM試料棒EM- KLEENプラズマ源も取り出して設置することができますSEM、FIBとXPSシステム上では、真空チャンバのクリーニングに使用されています。チャンバは、油抜きスクロールポンプまたはターボ分子ポンプワークステーションで真空引きすることができる。

構成3

チャンバへの取り付けTEMサンプルレバーアダプタ、サンプルとして使用可能&試料棒真空貯蔵チャンバ。チャンバは、油抜きスクロールポンプまたはターボ分子ポンプワークステーションによって真空引きされてもよい。全部で6個まで置くことができますTEM試料棒配置可能JEOL、HitachiとThermo FisherのTEM試料棒

TEMサンプルロッド真空貯蔵ステーション

TEMサンプルロッド真空ポンプステーションは真空条件下で最も多く保管することができる6個TEMサンプルロッド、サンプルとサンプルロッドのエア抜きを助け、水蒸気の凝結を除去し、サンプルとサンプルロッドの清潔を維持する。サンプルバーの漏れ検出にも使用できます。

機器の特徴：

•デバイスごとに合計6個のメモリセル。

•各メモリセルは、電磁弁を介して独立して引き出すことができる。サンプルロッドの1つを取り出すと、残りのユニットは真空状態に維持されます。

•複数のストレージシステムを連結し、真空ポンプを共有することができます。また、Tergeo-EMシステムは真空ポンプを共用している。

•無油乾燥タービンポンプまたはタービンポンプステーションを選択可能。

•真空ポンプは貯蔵ステーションから分離されており、必要に応じてメンテナンスとメンテナンスが容易です。

•真空管路の全金属管設計により、排気ガスを最大限に削減し、汚染を減らすことができる。

•室温よりやや高い安定した動作温度設計は、サンプルロッドのより速いエア抜きに有利である。

アメリカPIE当社は現代プラズマ洗浄器の技術リーダーであり、製品は以下を含む：Tergeoシリーズデスクトッププラズマ洗浄器（Tergeo、Tergeo-PlusとTergeo-EM）、遠隔プラズマ洗浄器（EM-KLEEN、SEMI-KLEEN quartzとSEMI-KLEEN sapphire)、必要に応じて連絡してください。