米PIE _ Tergeoプラズマ清浄機

Tergeoシリーズデスクトッププラズマクリーニング儀

Tergeoシリーズの卓上全自動プラズマ洗浄器は洗浄、灰化、エッチングなどの機能を持ち、ナノメートル級のサンプルを洗浄し、レジストを除去し、ウエハと集積回路のボンディングパッドを洗浄し、石炭と有機物の灰化を行い、ポリマー、金属とセラミックスの表面官能基を活性化させ、表面親水性を獲得し、ボンディング強度と印刷可能性を高め、医療機器の生体適合性を促進することができる。浸漬式と遠隔式の2種類のプラズマ源を集積でき、電子顕微鏡絞りとTEMサンプルロッドは、グラフェン、カーボンナノチューブ、ダイヤモンド状炭素、TEM網状多孔質炭素膜などの脆弱な微細サンプル。

Tergeoシリーズ3つのモデルがあります。

1）Tergeo プラズマ清浄機：これは経済的で実用的なプラズマ洗浄器。

2）Tergeo-Plus大チャンバプラズマ清浄機：これは大規模な製品室を備えたプラズマ洗浄器で、幅が広い150mmのサンプルです。

3）Tergeo-EMプラズマ洗浄器：使用＃シヨウ＃TEMサンプルぼうクリーンアップおよび除去SEM & TEM試料の炭化水素汚染。

機器の特徴：

• Tergeoシリーズは、1つのシステムで2つの洗浄モードをサポートできる唯一のプラズマ洗浄器です。

Tergeo-EM標準的なデュアルプラズマ源を搭載し、クリーンなTEMサンプルレバーの機能残りの2つ

試料表面の洗浄、エッチング、アッシングのための標準的な浸漬プラズマ源、オプションの遠隔式アイソレーション

子源は、温和な汚染除去及び脆弱で損傷しやすい試料の表面活性化に用いられる。

• プラズマ強度センサの特許技術を採用し、リアルタイムでプラズマ強度を定量測定することを実現する

• 13.56MHz無線周波数発生器、自動インピーダンス整合同調、双源バージョンパルス動作可能

• 直感的なタッチスクリーンユーザーインタフェース、保存可能20バー・ユーザープログラム、全自動うんてん

• 採用MFC(マスフローコントローラ)調整されたガス輸送制御

• 高純度石英サンプルチャンバとサンプルホルダー

推奨アプリケーション：

•集積回路チップのリードボンディングとパッケージ前のクリーニング

•クリーンアップTEMとSEMサンプル、炭化水素汚染の除去

•親水性又は疎水性表面湿潤性プラズマ処理

•きょうかエポキシじゅし/せっちゃくせっちゃくつよさ

• 光学、レーザー、通信用ガラス、光ファイバヘッドのクリーニングに使用

•改善MEMSマイクロ流体素子の濡れ性

•エッチングレジスト

• フェール解析用に皮膜を除去するには

•コンタクトレンズ、医療用インプラントなどの医療機器の表面処理と活性化

実験結果の一貫性と再現性科学研究と生産運行に対する非常に重要ですを選択します。したがって、

プラズマセンシングなどの重要なパラメータを監視し制御するためのさまざまなプロセス制御技術を統合しました。

器、圧力センサ、ガス入力の自動質量流量制御器。Tergeoプラズマ洗浄

機械の操作は全自動である。直感的なユーザーインタフェースに加えて7インチのタッチスクリーンほんけい

列＃レツ＃計器の操作はスマートボードのように簡単だ。組み込みマイクロコントローラのサポート20カスタマイズ可能フォーミュラ

プログラム。Tergeo一連のプラズマ処理システムは先進的なプロセス制御技術を採用しており、

ユーザーと重複する日常的な運用パフォーマンスを提供します。

Tergeoシリーズデスクトッププラズマエッチングと表面清きれいにシステム使用可能研究、開発その他の用途。TEM用戸さん、どうぞ選択私たちのTergeo-EMクリーンTEMサンプルレバー機能のプラズマ洗浄器TEMとSEMその他の用途戸表示することもできますEM-KLEENリモートプラズマクリーンアップシステムサンプルロッドの保管などの用途には、多目的サンプル洗浄及び貯蔵チャンバ。