Q 300 T D Plus大チャンバ二重ターゲットイオンスパッタリングめっき装置

Q300T D Plus大チャンバ、多機能、高真空二重ヘッドイオンスパッタリングコーティング装置

Q300T D Plus2つの材料の多層逐次スパッタリングに適しており、2つの独立したスパッタリングヘッドを有しており、2つの金属を逐次スパッタリングすることができ、その間に真空を破る必要はない。ユーザは真空引きプログラム、スパッタ時間、スパッタサイクル回数、スパッタ電流などの動作パラメータをカスタマイズし、全自動で運転する。2つのターゲット間循環めっきプロセスにより、2つのターゲット材料の無限層の異なる厚さの逐次めっきを実現することができる。使用しない場合、ターゲットは汚染を防ぐためにバッフルによって遮られます。基材サンプルは、金（Au）白金（Pt）メッキ膜、イリジウム（Ir）微細成膜粒子構造を有する膜層をめっきした。高真空システム及びバッフル装置を有することから、Q300T D Plusクロム（Cr）及びアルミニウム（Al）などのめっき微細膜層を形成する。Q300T D Plus標準配合クロム（Cr）ターゲットと金（Au)ターゲット。

三ターゲットめっきを用いた大面積同一材料のフィルム層については、「Q300T T Plus。その他の大チャンバコーティング装置については、「K975X/K975SおよびQ300T ES Plus。

機器の特徴：

•静電容量式タッチスクリーン、高感度、よりタッチ操作しやすい

•ユーザーインタフェースソフトウェアが全面的に更新され、現代のスマートフォン技術インタフェースを使用

•包括的なテキストヘルプページ

• USBインタフェースはソフトウェアの更新やフォーミュラファイルのバックアップを容易に行うことができます/コピー先USBリザーバ

• logファイル形式は.csv、日付、時間、および作業パラメータを含む、エクスポート先Excelまたは類似ソフトウェアにおける解析

•マルチユーザによるめっきスキームの入力と保存を可能にし、最近の使用状況に応じて各ユーザのレシピを配列することができる

•デュアルコアARMプロセッサー、迅速な応答の表示を実現することができます、タッチスクリーンボタン付きのフルグラフィックスインタフェース（最近使用したものを含む）1000個のめっき日誌とメンテナンス満期時の注意喚起などの機能

•取り外し可能なガラスキャビティは、台座と天板を掃除しやすく、防爆カバーが設置されている。必要に応じて、ユーザは、敏感なサンプルの交差汚染を回避するためにチャンバを迅速に交換することができる。高チャンバオプションにより、サンプルの過熱を回避し、スパッタの均一性を高め、より高いサイズのサンプルを担持することができます

•ダブルヘッドスパッタリング-シーケンシャルスパッタリングめっき膜に適している、マグネトロン冷スパッタリング、スパッタリング用パルスクリーニングAl（アルミニウム）

•オプションの二重膜厚監視アタッチメント（FTM）

•大きくて多色のLED表示灯、可視化状態指示を実現する、プログラムが完了すると音声メッセージが表示される

推奨アプリケーション：

•理想的な多層スパッタリングコーティング用途

•せっちゃくけんきゅう

•真空を破ることなく2種類の金属の逐次めっきを実現することができる。例えば、薄い「種結晶」クロム（Cr）層を形成し、それからメッキ（Au）

•ターゲットの1つを選択して、単金属用途を実現することもできます

•薄膜や電子顕微鏡への応用のための各種の酸化しやすい金属及び不酸化金属のスパッタリングが可能である

Q300T D PlusイギリスですQuorum製品の国際的認可Q一連のめっき装置の一部で、世界数千社の顧客がこのようなめっき装置を使用している。Qシリーズの目的はSEM、TEM薄膜応用により高品質のめっきソリューションを提供し、Qシリーズの機能は多様で、リーズナブルで使いやすい。これらの製品は科学研究の用途に特化している。

Q Plus一連のコーティング装置には小さなチャンバのバージョンもあります。次を参照してください。Q150R Plus、Q150T PlusおよびQ150V Plus；SC7620とQ150GBオプションモデルでもあります。