Q 300 T T Plus 3ターゲット大チャンバ全自動スパッタリングコーティング装置

Q300T T Plus三ターゲット大チャンバ全自動スパッタリングコーティング装置

Q300T T Plus使用＃シヨウ＃200 mm直径（8インチ）以下の大サンプル又は複数の小サンプルは、薄膜研究及び通常の走査型電子顕微鏡に適した大チャンバタービンポンプスパッタリングめっきシステムである/電界放出走査電子顕微鏡試料の製造用途。単一の大きなサンプルまたは複数の小さなサンプルの均一な堆積を確保するために、3つの独立したスパッタリングヘッドが配置されています。小サンプルの経済的なめっき膜については、「単一ターゲット」モードを選択することができる。Q300T T Plus一連の酸化および非酸化（貴金属）をスパッタリングするように設計された金属ターゲットは、3つのブロックが標準的に配置されている57 mmちょつけいx 0.3 mm厚さの同じクロム（Cr)ターゲット。注意：使用できませんQ300T T Plus各スパッタリングヘッドに3つの異なるスパッタリング金属を配置して、3層連続めっき膜を実現します！

異なる材料を2層連続めっきするフィルム層については、「Q300T D Plus。その他の大チャンバコーティング装置については、「K975X/K975SおよびQ300T ES Plus。

機器の特徴：

•げんかいしんくう5 x 10^-5mbarまたはより優れた

•静電容量式タッチスクリーンは、感度が高く、よりタッチ操作しやすい。ユーザーインタフェースソフトウェアが全面的に更新され、現代のスマートフォン技術インタフェースを使用

•包括的なテキストヘルプページ

• USBインタフェースはソフトウェアの更新やフォーミュラファイルのバックアップを容易に行うことができます/コピー先USBリザーバ

• logファイル形式は.csv、日付、時間、および作業パラメータを含む、エクスポート先Excelまたは類似ソフトウェアにおける解析

•マルチユーザによるめっきスキームの入力と保存を可能にし、最近の使用状況に応じて各ユーザのレシピを配列することができる

• 16GBメモリ、デュアルコアARMプロセッサー、迅速な応答の表示を実現することができます、タッチスクリーンボタン付きのフルグラフィックスインタフェース（最近使用したものを含む）1000個のめっき日誌などの機能

•内爆保護カバー付き取り外し可能なガラスチャンバ、高チャンバを選択可能

•複数のサンプルテーブルを選択可能

•3つの同じターゲットの大面積スパッタリングヘッド、マグネトロン冷スパッタリング、スパッタリング用パルスクリーニングAl（アルミニウム）

•オプションの膜厚監視アタッチメント（FTM）

•大きくて多色のLED表示灯、可視化状態指示を実現する、プログラムが完了すると音声メッセージが表示される

推奨アプリケーション：

•理想的な大面積スパッタリングコーティングの応用

•ウェハチェツク

•「単一ターゲット」モードを選択し、経済的なめっき応用を実現する

•薄膜及び走査型電子顕微鏡の多試料製造のための各種の酸化しやすい金属及び不酸化金属をスパッタリングすることができる

Q300T T PlusイギリスですQuorum製品の国際的認可Q一連のめっき装置の一部で、世界数千社の顧客がこのようなめっき装置を使用している。Qシリーズの目的はSEM、TEM薄膜応用により高品質のめっきソリューションを提供し、Qシリーズの機能は多様で、リーズナブルで使いやすい。これらの製品は科学研究の用途に特化している。

Q Plus一連のコーティング装置には小さなチャンバのバージョンもあります。次を参照してください。Q150R Plus、Q150T PlusおよびQ150V Plus；SC7620とQ150GBオプションモデルでもあります。