スイスSafematic CCU-010 LVイオンスパッタリングと炭素めっき一体化めっき装置

スイスSafematic電子顕微鏡サンプリング設備：CCU-010 LVイオンスパッタリングと炭素めっき一体化めっき装置（SP-010+CT-010）

コンパクト、モジュール化、インテリジェント化
CCU-010はコンパクトで全自動型のイオンスパッタリング及び/又は蒸発炭素めっき装置であり、使用は非常に簡便である。独自の挿入式設計を採用し、めっきヘッドを簡単に変換することでスパッタや蒸着装置として容易に配置することができる。プラズマ処理は、被膜の前及び／又は後に行うことができる。モジュール化された設計は、金属と炭素堆積との間の交差汚染を容易に回避することができる。

特徴と利点
✬高性能イオンスパッタリング、蒸発炭素めっき及びプラズマ処理
✬独自の炭素源設計–ユーザーの介入なしに数十回まで炭素めっきを行う
✬独自のプラグアンドプレイスパッタリングと炭素蒸着モジュール
✬一流の真空性能と高速真空引き
✬コンパクトで信頼性が高く、メンテナンスが容易
✬二位置膜厚監視装置、異なる寸法のサンプルと互換性がある
✬先進的なスパッタリングヘッドはめっき品質を確保し、連続運転時間を延長することができる

巧みな真空設計
CCU-010 LVファイン真空めっきシステムは、SEMとEDXの従来の高品質スパッタリングめっき膜と炭素めっきのために設計されている。モジュール化された設計により、低真空ユニットを高真空ユニットに簡単にアップグレードすることができます。特に選択され設計された材料、表面、形状は、真空引き時間を大幅に短縮することができます。

SP-010スパッタモジュール
SP−010スパッタリングモジュールは連続めっき時間が長く、比較的厚い膜を必要とする用途に最適である。複数のスパッタリングターゲットを選択でき、SEMなどの導電性薄膜の応用に適している。
SP−010は電子顕微鏡における微細粒子貴金属めっき膜の理想的なツールである。極細粒子サイズのめっき膜には、タービンポンプを用いた真空引きのCCU-010 HVバージョンが推奨されている。

CT-010炭素蒸発モジュール
コンパクトな挿入式炭素蒸発モジュールは炭素めっきのために新しいベンチマークを樹立し、SEMなどの高品質炭素膜の応用が必要な場合に最適である。CT−010は、炭素源を交換することなく、数十回までコーティングされたコーティングを行うことができる。温度に敏感な試料に対して温和な蒸着薄膜を行うことができ、中厚膜層に対して高出力フラッシュ蒸着炭素を用いることもできる。

GD-010グロー放電モジュール
代替的なGD−010グロー放電システムは、例えば炭素膜を親水化する表面処理を行う。

HS-010しんくうタンク
HS−010真空貯蔵タンクは、予備メッキヘッド、ターゲットなどの付属品を真空条件下で保管し、洗浄状態にすることができる。

ET-010プラズマエッチングユニット
サンプルをコーティングする前またはコーティングした後に、サンプルをプラズマエッチング処理することができる。

Coating-LABソフトウェア
PCベースのCoating-LABソフトウェアを使用すると、グラフ情報を含む処理データを表示できます。

RC-010グローブボックス応用の遠隔制御ソフトウェア
◎ウィンドウベースの遠隔制御ソフトウェア
◎フォーミュラの作成と呼び出し

複数種類のサンプルテーブルを選択可能
CCU−010は、高さ調整可能で傾斜可能なサンプルスタンドに挿入された直径60 mm以上のサンプルスタンドを提供する。他の専用の回転試料台、遊星台、スライド試料台などを選択できます。

CCU-010 LV普通真空めっき器バージョン
真空めっきシステムの基礎ユニットとして、CCU-010 LVはSEMとEDXの従来の高品質スパッタリング及び/又は炭素めっきのために設計されている。お客様は次のオプションを選択できます。

CCU-010 LVマグネトロンイオンスパッタリングめっき装置；

CCU-010 LV熱蒸発炭素めっき装置；

CCU-010 LVイオンスパッタリングと炭素めっき一体化めっき装置；

CCU-010 LVグローブボックス専用コーティング装置。