米Tousims Cシリーズタッチスクリーン全自動臨界点乾燥機_ウエハ専用CPD

米Tousims Cシリーズタッチスクリーン全自動臨界点乾燥機

_ウエハ専用CPD（クリーンルームバージョン）

Cシリーズは縦型（床置き式）大型臨界点乾燥機で、超浄間で動作でき、3つの型番が選択可能：

1）4”を超えないウエハ超臨界乾燥用Autosamdri-934

2）6”を超えないウエハ超臨界乾燥用Automegasamdri-936

3）8”を超えないウエハ超臨界乾燥用Automegasamdri-938

臨界点乾燥の原理
臨界点乾燥（超臨界乾燥とも呼ばれる）と呼ばれるのは、媒体が液体と気体の間に明らかな区別がなく、境界面の表面応力がゼロに低下する状態の連続性があるためである。この現象は特定の温度と圧力を持ち、臨界点と呼ばれる。表面応力ゼロという条件は、生体試料または水性材料試料の乾燥に使用でき、表面応力による試料の損傷を回避することができる。
私たちは電子顕微鏡（走査型電子顕微鏡透過型電子顕微鏡）の生物試料または含水材料試料の製造時にしばしば脱水処理（勾配脱水）を行う必要があるが、水の臨界点は+374℃および3212 psiであり、不便で試料を損傷しやすい。一般的にも非常に便利な臨界点乾燥媒体はCO 2であり、その臨界点は+31℃および1072 psiである。しかし、水との混合は容易ではないので、中間液体として通常エタノールまたはアセトンを使用する第3の媒体を使用しなければならない。このように遷移液体、すなわちCO 2を液体から気体に変換する際に、臨界点で試料に対する表面応力の破壊がない。

特徴と利点

❖専用の初期低速充填作業室、理想的な流体力学は敏感なマイクロデバイスを保護する

❖観察窓によるチャンバ照明を実現し、チャンバ状態の可視化に役立つ

❖タッチスクリーン制御、出荷時のデフォルト設定の全自動ハンドラまたはカスタムユーザプログラム

❖COに強い内面材質_2，超純エタノール及びラクトン環境

❖外部実装されたPost-Purge-Filterなどのコンポーネントにより、メンテナンスが容易になる

❖独自に「螺旋渦流」法を採用し、流体動力交換を発生し、置換を加速するための機械攪拌装置を必要としない

❖極めて効率的に冷却回路を集積閉鎖し、急速にチャンバ温度を下げ、処理時間を短縮する

❖作動チャンバによる液状二酸化炭素の粒子濾過は0.08µmと低く、粒子保持率は99.999%+

❖静電気防止設計、クリーンルーム材料の製造応用に適している

❖独創的なチャンバ充填ブロックはチャンバ内径の変化を実現し、液体二酸化炭素の利用率を最大限に高め、プロセス時間を削減し、そして多種の寸法ウエハ処理能力を提供する

❖1回に5個までのウェハを処理できます。型番によって、異なるHF対応ウェハホルダを配置する：8"、6"、4"、3"、2"、10 mm金型ホルダ

❖結果の「再現性」を確保するための繰り返し可能な操作パラメータ

❖温度と圧力の自動調整を統合した安全操作機能

❖凝縮器を内蔵し、廃棄エタノールと二酸化炭素を分離し、いかなる管路凍結或いは機体静電気を除去し、全過程に騒音がない

主な技術仕様

➢作業室サイズ：934型4.50「I.D.；936型6.50」I.D.、938型8.50「I.D.

➢圧力測定範囲：0-2000 psi.

➢温度測定範囲：-30°C to 60°C

➢制御方式：タッチスクリーン全自動プログラム制御

一般的な構成

ϫフレキシブル高圧液状CO 2供給ホース、現場での設置を容易にする

№デュアルT型フィルタアセンブリ（#8785）チャンバに予め取り付けられた液状二酸化炭素高圧ホース

ϫすべての排気口に静電排気管が含まれている

⑪チャンバプラグインは以下を含む：8「変6」、6「変4」、4「変3」、3「変2」、2「変1.25」、異なる型番によって配置する！複数のウェハサイズの乾燥を可能にする

➊耐フッ素サンプルラックを備え、異なるチャンバサイズに応じてそれぞれ8″、6″、4″、3″、2″を乾燥するためのウエハまたは辺長10 mmの正方形裸片を配置し、各ホルダーは最大5個のウエハを積載することができる

ϫ予備室Oリング、チャンバランプとヒューズ（3 Aと8 A）

注：米国Tousims製品は50年近くの歴史があり、中国の顧客からの評判は非常に良い。ボース科学技術はCPD超臨界乾燥器の中国区代理である。Tousimisりんかいてんかんそうき製品は次のとおりです。非クリーンルームバージョンとクリーンルームバージョン2つの大きなクラス、前者は電子顕微鏡によるサンプリングによく用いられ、後者は超浄間内の材料研究用途に多く用いられる、

非クリーンルームバージョン全部で7種類のCPDがあります：

1）Samdri®-PVT-3 D通常臨界点乾燥器

2）Samdri®-795半自動りんかいてんかんそうき

3）Autosamdri®-815 Series A全自動臨界点乾燥器

4）Autosamdri®-815B Series A全自動臨界点乾燥機

5）Autosamdri®-931_1.25"タッチスクリーン全自動りんかいてんかんそうき

6）Autosamdri®-931_2.50"タッチスクリーン全自動りんかいてんかんそうき

7）Autosamdri®-931_3.40"タッチスクリーン全自動りんかいてんかんそうき

クリーンルームバージョン9種類のCPDがあります。

1）Autosamdri®-815 Series B全自動臨界点乾燥機For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自動臨界点乾燥機For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動臨界点乾燥機For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"タッチスクリーン全自動多目的りんかいてんかんそうき

5）Autosamdri®-931_2.50"タッチスクリーン全自動多目的りんかいてんかんそうき

6）Autosamdri®-931_3.40"タッチスクリーンの多用途全自動りんかいてんかんそうき

7）Autosamdri®-934タッチパネルCシリーズ全自動りんかいてんかんそうき

8）Automegasamdri®-936タッチパネルCシリーズ全自動臨界点`乾燥計

9）Automegasamdri®-938タッチパネルCシリーズ全自動りんかいてんかんそうき

米国Tousims超臨界乾燥機は広範である生物試料、ゲルなどのマイクロナノ3 D構造を有する脆弱で複雑な試料、およびMEMS、MOF、カーボンナノチューブ、グラフェン、半導体ウエハ（最大試料サイズ8インチ、一度に5枚同時乾燥）などの材料系試料の臨界点乾燥。CO 2臨界点状態における液相表面張力なしによる試料の皺変形の原理を利用して真の形態を有する乾燥試料を取得することは、水または他の液体を含む細胞組織などの生物試料、半導体などの材料試料の乾燥による試料製造の有効な方法である、操作が簡便で、制御が正確で、結果が重複できるなどの特徴がある。中でも、定番のSAMDRI®-PVT-3 Dと受賞歴のあるAutosamdri®-931高級タッチスクリーン全自動CPDなどのモデルが特に注目されている。お客様は、異なるアプリケーションに基づいて異なるモデルを選択できます。