しんくうマニピュレータ

ウエハ搬送シリーズの真空ロボットは主に半導体加工過程に応用され、真空端の異なるステーション間のウエハ搬送を担当する重要な自動化設備である。新松会社が持つネットワーク型ロボットコントローラを用いて制御を行い、構造がコンパクトで、構成が柔軟で、制御性能が高いという特徴があり、異なるロボット本体に適応でき、ロボットコントローラ間、ロボットコントローラとIC装備間の通信を実現し、異なる応用システムを構成するのに便利である。現在、新松会社はすでに単腕、双腕、スコラ型、カエル型など6つのモデルの大気ロボットを開発し、しかも顧客の要求に応じてカスタマイズすることができ、すでにユーザーが応用し、そしてシリーズ化製品が異なるユーザーの要求を満たすことを形成した。