YAMATOプラズマ洗浄機PR 500/510/1000 DPモード、バケットタイプ

交渉可能更新03/03

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

低温プラズマ・クラシックバレルタイプ

製品詳細

低温プラズマ・クラシックバケツ型。

PR500：手動制御PR 510：自動タッチスクリーン制御
ないぶみぞ
シリコンウェハアッシング状態
低温プラズマの定番モデルは非常に歴史的だ。自動調整機能とタッチパネル操作（PR 510）を採用し、操作性と安全性を向上させた、小型でコンパクトなプラズマ処理装置である。

●レジスト除去
●部品洗浄
●界面活性処理
●微粉砕
●シリコンウエハ、ガラス基板対応

用途
●大口径（Φ215 mm）石英反応チャンバ
●小型一体化設計

仕様：

モデル	PR500	PR510
プラズマモード	DPモード、バレル
高周波出力	Max500W
しゅうはすう	13.56MHz
どうちょうほうしき	自動調整
はんのうチャンバ	石英Φ215×305 mm
はんのうガス	2システム（O 2／CF 4）
せいぎょ	手動	タッチスクリーン自動制御
配管マテリアル	ステンレス、テフロン
外形寸法	W438 x D520 x H760mm	仕様書参照
じゅうりょう	約60 kg	仕様書参照
電源装置	単相AC 100 V 9 A	三相AC 200 V 8 A

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