半導体熱処理プロセスのためのppm級マイクロ酸素測定システム

ドイツMESAマイクロ酸素測定システム、半導体生産プロセスに特化した熱処理プロセス。

ドイツMESAマイクロ酸素測定システムガスを特製測定室に抽出し、Lambdaプローブを通じて安定した制御された温度で微酸素測定を行う精密システムであり、アナログ信号をppm酸素含有量に対応して出力することができる。

距離：0…5/10/100/10000 ppm

精度：±1%FS

利点：4点補正

出力：0（4）…20 mAまたは0…10 V

産地：ドイツ（ISO 9001：2015認証）

適用業界：半導体

主な顧客：Mattson

ドイツMESAマイクロ酸素測定システムジルコニアプローブ（Lambdaプローブ）の設計を採用し、一定の600℃で測定することができ、炉内の温度の影響を受けず、Lambdaプローブの動作状態は安定し、使用寿命は他の同類製品より長く、実際の使用寿命は10年に達することができる、

ドイツMESAマイクロ酸素測定システム各Lambdaプローブは、スマート電源から出力される測定信号をより正確にするために、独自の零点ドリフト係数K 1と温度補償係数K 2を有する。レンジと出力タイプはオプションです。測定結果をRS 232/RS 485などのインタフェースを介して上位機に接続し、集中制御機能を実現することもできる。